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不同類型的調節閥及不同部位都有一些關鍵性元件，這些元件也是容易出故障的元件，如：氣動、液動執行機構，膜片對薄膜式氣動執行機構來說，膜片是重要的元件。在氣源系統正常的情況下，如果執行機構不動作，就應該想到膜片是否破裂、是否沒安裝好。當金屬接觸面的表面有尖角、毛刺等缺陷時就會把膜片扎破，而膜片不能有泄漏。另外，膜片使用時間過長，材料老化也會影響使用。活塞氣動、液動執行機構的活塞產生驅動力，因此活塞的損壞、磨損是不允許的。接氣（液）管是輸入壓力通向執行機構的通路，因此要經常檢查是否接牢，不漏氣。推桿要檢查推桿有無彎曲、變形、脫落。推桿與閥桿連接要牢固，位置要調整好，這樣才能確保足夠的行程并關閉閥門。彈簧要檢查彈簧有無斷裂，制造、加工、熱處理不當都會使彈簧斷裂，有些彈簧在過大的載荷作用下，也可能斷裂。
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